1.固有頻率：
光學實驗平臺振動的周期或頻率與初始(或外界)條件無關，而只與系統的固有特性有關，稱為光學實驗平臺的固有頻率或者固有周期。通常來說，固有頻率越低，系統的隔振性能就越強。
外界振動同物體的固有頻率相同時，通常會引起共振，往往不是好事，甚至會產生嚴重后果，比如：正常人體的固有頻率為7.5Hz左右，其中各部分又有自己的固有頻率，如內臟為4～6Hz，頭部為8～12Hz等，正是由于這個原因，次聲波（10-5～20Hz）對人體有很大的破壞。
固有頻率還分為水平方向和豎直方向，但通常來說豎直方向的固有頻率對整體隔振性能的影響，起到決定性作用，水平方向的固有頻率指標通常用于參考。
2.振動恢復時間：
也叫衰減周期，是指：某一點上開始振動到恢復到初始狀態所需要的zui短時間。若把光學平臺簡化為彈簧振子，由彈簧振子的回復力表達式：
計算可知，彈簧振子的周期公式為：T=2π√M/K；
從上式分析可知：若要縮短光學平臺的振動恢復時間，通常有兩個辦法：
·增大彈簧的彈性系數k。對于阻尼隔振平臺，可以換用材質較硬的阻尼材料；對于充氣平臺，可以適度增加空氣壓力。
·控制
光學實驗平臺臺面的質量。在不影響剛度的前提下，臺面質量越輕，振動恢復時間越短，使用效果就越好。
3.振幅：
振動物體離開平衡位置的zui大距離叫振動的振幅。
振幅在數值上等于zui大位移的大小。對于
光學實驗平臺系統，臺面受外力作用時，離開平衡位置的zui大距離，同光學平臺系統的結構、受力大小、受力的位置、瞬時加速度、速度、持續時間、臺面的剛性、隔振系統的阻尼比等諸多因素有著非常復雜的非線性函數關系，如果標稱振幅的具體指標，需要注明上述特定的實驗條件，否則振幅的指標，變得沒有意義。對于阻尼隔振的光學實驗平臺，振幅通常在微米量級，而氣浮式隔振平臺，振幅通常為毫米量級甚至是厘米量級。
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